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我国大型高精度衍射光栅刻划系统项目实施
高精度衍射光栅刻划系统 实施
2009/2/23
日前，由国家光栅制造与应用工程技术研究中心申请的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统”获得财政部批准，支持经费超过1亿元。