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GaP LPE半导体材料的扫描电子显微镜研究
扫描电子显微镜 半导体材料 GaP LPE
2008/4/28
本文论述了用扫描电子显微镜研究GaP LPE半导体材料,二次电子像用于分析样品的表面形貌,电子束感生电流像(EBIC)用于显示p-n结的位置,定量EBIC用以确定少子扩散长度和表面复合速度等重要参量。