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基于XML的MEMS设计过程描述语言
MEMS XML MEMS设计过程描述语言
2009/4/17
在分析和细化MEMS多种器件设计流程的基础上，建立了通用的MEMS Top-Down设计过程模型。参考工作流过程定义语言XPDL，并对其进行了扩展和修改，充分考虑微机械系统设计过程的特点，提出了一种基于XML的MEMS设计过程描述语言(MDPDL)，介绍了其设计和实现的基本思想，用实例验证了该语言的有效性。
MEMS检测及微操作系统
MEMS检测 微操作系统
2008/9/27
本项目主要完成一个自动化的MEMS封装和检测系统。封装主要是完成0～20mm的两个极板的对准和粘接，粘接是在对准后，通过加压，使极板与芯片接触并粘合；检测主要是完成0～20mm的MEMS芯片的表面非接触检测，包括：表面形貌(主要指粗糙度)、各种沟槽的三维几何测量。本系统将MEMS检测与微操作功能相结合构成多功能的操作系统在国内尚属首创。