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在不同衬底上制备的ZnO薄膜透射率的研究 ZnO薄膜结晶化透射率透明薄膜晶体管 2009/4/9

采用反应磁控溅射在不同结构衬底上生长ZnO薄膜，通过X-ray衍射(XRD)及透射光谱来分析薄膜的成膜情况，并得出在Al2O3/AlN复合基上溅射沉积的ZnO薄膜比单独在AlN薄膜衬底的结晶质量好且透过率也较高。而经不同的快速热退火温度验证，发现在400 ℃时，ZnO薄膜的结晶化及在(002)方向上的择优取向达到最好，并在可见光范围内的平均透过率达到88%以上。当退火温度超过450 ℃时，温度过高...