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全频段亚纳米精度氟化钙材料加工
氟化钙 投影光刻物镜 精密光学加工 亚纳米精度加工 离子束修形(IBF)
2016/12/16
考虑用CaF2材料制作投影光刻物镜可以明显提高其性能指标，本文研究了CaF2材料加工工艺的全流程，以实现CaF2材料的全频段高精度加工。首先，利用沥青抛光膜和金刚石微粉使CaF2元件有较好的面形和表面质量。然后，优化转速、抛光盘移动范围、压力等加工工艺参数，并使用硅溶胶溶液抛光进一步降低CaF2元件的高频误差，逐渐去除加工中产生的划痕并且获得极小中频误差（Zernike残差）和高频粗糙度。最后，在...