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磁控直流等离子体炬的磁流体动力学模型与仿真
磁控直流等离子体炬 磁流体动力学模型
2010/12/21
以沉积金刚石膜的磁控直流等离子体炬为研究对象，在经典N-S流动方程和能量方程中引入多项源项（包括因外磁场和内部自感应磁场引起的洛伦兹力、辐射冷却、焦耳生热等），并结合组分质量守恒、广义欧姆定律及麦克斯韦方程组，建立了炬内等离子体的磁流体动力学(MHD)模型。利用二次开发后的FLUENT软件对所建MHD模型进行了仿真，得出了在有外磁场与无外磁场两种情形下，炬内及炬出口的温度和速度分布曲线。仿真结果证...