搜索结果: 1-1 共查到“薄膜光学及技术 光学材料”相关记录1条 . 查询时间(0.255 秒)
高功率MPCVD金刚石膜红外光学材料制备
椭球谐振腔式MPCVD装置 CH4浓度 光学级金刚石膜 高功率 生长速率
2016/8/30
使用自行研制的椭球谐振腔式MPCVD装置，以H2-CH4为气源，就高功率条件下CH4浓度对金刚石膜的生长速率和品质的影响规律进行了研究，并在此基础上进行了大面积光学级金刚石膜的沉积。利用扫描电镜、激光拉曼谱仪、傅里叶红外光谱仪对金刚石膜的表面和断口形貌、金刚石膜的品质、红外透过率等进行了表征。实验结果表明，使用自行设计建造的椭球谐振腔式MPCVD装置在高功率条件下通过提高CH4浓度会使金刚石膜的生...