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衡阳师范学院2020年电子信息硕士初试光电信息技术及应用、检测技术及自动化专业课数字电子技术考试大纲
衡阳师范学院 2020年 电子信息 硕士 初试 光电信息技术及应用 检测技术 自动化 数字电子技术 考试大纲
2020/3/9
衡阳师范学院2020年电子信息硕士初试光电信息技术及应用、检测技术及自动化专业课数字电子技术考试大纲。
基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术
干涉检测 子孔径拼接 最大似然估计 Zernike多项式拟合 正交化
2016/8/11
大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分, 其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段, 子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法, 基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型, 基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测, 同时编写了相应的拼接程序, 并利用Φ100 mm干涉仪对Φ120 mm...
系统采用PCI-1428图像采集卡、CCD图像传感器及摄像机、PC机搭建VFD显示图像缺陷检测硬件平台,采集VFD图像;并用LabVIEW与IMAQ-VISION软件进行图像自动拼接、图像缺陷检测、工作台控制以及数据库等系统软件设计。为了获得较好的图像效果,针对采集的VFD图像特点,先用灰度变换、平滑滤波、灰度阈值分割、图像二值化等方法对其进行预处理,接着完成VFD显示图像的图案连码、断码、缺损和...
上海光机所高端光刻机成像质量原位检测技术取得重要成果
2008/1/21
近期，上海光机所信息光学实验室王向朝研究员课题组与上海微电子装备有限公司合作，利用国家“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米分辨率步进扫描投影光刻机”的研发平台，对高端光刻机成像质量原位检测技术进行了系统和深入的研究，在高端光刻机投影物镜的轴向像质、垂轴像质、静态与动态像质以及波像差的原位检测技术等领域获得了多项重要研究成果。该课题组创新性地提出了一系列193纳米高端光刻机成像质量...