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搜索结果:
1-1
共查到
“
连续激光晶化
”
相关记录1条 . 查询时间(0.169 秒)
488 nm
连续激光晶化
本征非晶硅薄膜的喇曼光谱研究
喇曼光谱
单晶硅
激光晶化
多晶硅
本征非晶硅
2011/12/20
利用等离子增强化学气相沉积系统制备了本征非晶硅薄膜,并选用488 nm波长的
连续激光
进行
晶化
.采用喇曼测试技术对本征非晶硅薄膜在不同
激光
功率密度和扫描时间下的
晶化
状态进行了表征,并用514 nm波长与488 nm波长对样品的
晶化
效果进行了比较.测试结果显示:
激光
照射时间60 s,
激光
功率密度在1.57×105 W/cm2时,能实现非晶硅向多晶硅的转变,在功率密度达到2.7 56×105 W/cm...
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