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搜索结果: 1-1 共查到射频溅射相关记录1条 . 查询时间(0.069 秒)
多晶的六角密排的c轴平行于衬底的ZnO膜已用射频溅射的方法制备出来,一电场感应的氧吸附在这些膜上被观察到.由紫外光照射或与Ar离子反应所产生的氧的脱附可使膜的电导率增加6-7个数量级,并且一个积累层在膜的表面显现出来.

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