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中国科学院上海光学精密机械研究所提出一种基于静态多平面相干衍射成像的大口径光学元件相位缺陷检测新方案（图）
中国科学院上海光学精密机械研究所 静态多平面相干 衍射成像 大口径光学元件 相位缺陷 检测新方案
2020/5/11
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室朱健强研究员团队在大口径光学元件的相位缺陷检测研究方面取得新进展，提出了结合暗场成像和静态多平面相干衍射成像的新型检测方案，相关成果于5月7日发表于《应用光学》(Applied Optics)。