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东南大学MEMS教育部重点实验室
东南大学MEMS教育部重点实验室 微电子学
2022/5/7
东南大学1983年开始集成传感器的研究，并于1985年在欧洲固态电子器件会议《ESSDERC￠85，Germany, p.88》报道了集成MOS流量传感器的研究结果；1986年开始了硅片直接键合技术研究，并于1987年在《Applied Surface Science，30(2)，397（1987）》报道了硅键合材料的测试结果；1987年开始了微传感器CAD研究，并于1988年在《Solid St...
The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary t...