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微系统进展与中国科学院微系统发展战略思考微系统进展产业化发展战略 2013/7/10

微系统是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面的微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础，用批量化的微电子技术和三维加工技术制造，用以完成信息获取、处理及执行的功能。阐述了国内外微系统技术及其产业发展的历程、现状和趋势，比较分析了我院微系统技术发展现状。基于以上分析讨论，提出了我院微系统发展战略。最后提出了对我院微系统产业发展的思考。