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针对光学元件的面形测量，提出了一种被测件随机移相干涉面形测量法，用于降低移相干涉仪的成本，避免移相器老化产生的移相误差对面形检测精度的影响。该方法利用微位移驱动器驱动被测件在摩擦气浮复合导轨上移动进行随机移相并用相机采集若干幅干涉图；然后利用最小二乘迭代算法处理干涉图数据进而迭代出被测表面相位分布；最后进行一系列数据处理求解出被测件的面形结果。为了验证该方法的可行性，在实验室搭建了改进的斐索移相干...
