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中国科学院金属研究所专利：一种结构紧凑的多功能磁控离子镀弧源装置
中国科学院金属研究所 专利 结构紧凑 磁控离子镀 弧源装置
2023/12/21
本发明涉及薄膜制备领域,具体地说是一种结构简单紧凑的多功能多控制模 式磁控离子镀弧源装置,磁控离子镀弧源装置的靶材底座后面设有由小型直流电 机或者交流电机驱动的旋转磁场发生装置,电机驱动固定在电机转轴上的磁轭带 动合理分布在磁轭上的永磁体转动,不同的永磁体分布便产生不同位形结构的旋 转磁场,实现多控制模式的目的。本发明利用简单紧凑的弧源结构和不同的永磁 体分布方式,产生不同位形的动态旋转磁场,用以...