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本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗，是一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和温度下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 紫外灯 灯头透镜 外表面 清洗装置
2024/1/29
本发明涉及质谱电离源中真空紫外灯的在线或离线清洗，是一种紫外灯灯头透镜外表面清洗装置，包括密封的电离腔，电离腔的侧壁上设置有真空紫外灯安装口，电离腔的侧壁上设有一贯穿电离腔壁面的导气管，导气管的出口端位于真空紫外灯下方，导气管入口端与臭氧发生器的气体出口相连，臭氧发生器气体入口与氧气源连接。本发明中利用臭氧发生器产生的含有高浓度臭氧气体在一定气压和温度下对紫外灯透镜上吸附的有机物氧化反应，实现对灯...