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本发明公开了一种用于固体氧化物燃料电池的氧化锆基电解质薄膜的制备方法，该电解质薄膜包括致密层与疏松层，其中致密层能够有效隔绝阴极气与阳极气，使开路电压接近于理论值；疏松层能够改善阴极/电解质界面接触性能。该电解质薄膜采用射频磁控反应溅射的方法制备，氧化锆基电解质薄膜厚度可调可控，厚度均匀、气密性良好。该电解质薄膜的使用，有效的降低了电池的欧姆电阻，提高了电池的性能。
本发明公开了一种具有择优暴露晶面的氧化铈基电解质薄膜，可以作为固体氧化物燃料电池的电解质隔层，也可以单独作为固体氧化物燃料电池的电解质层，或者用于催化反应；该薄膜采用磁控反应溅射的方法制备。具有择优暴露晶面的氧化铈基电解质薄膜的使用，有效提高了阴极对氧气、阳极对燃料气的电催化性能及氧化铈基电解质薄膜的导电性能，减少了电极极化电阻与欧姆极化电阻，有效的提高了电池的中、低温性能。
中国科学院上海应用物理研究所专利：固体电解质薄膜的测量装置
中国科学院上海应用物理研究所 专利 固体电解质 薄膜 测量装置
2023/8/3
中国科学院上海应用物理研究所专利：固体电解质薄膜的测量装置