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中国科学院西安光学精密机械研究所专利：一种大视场、低像差电子光学成像系统及成像方法
电子光学玻璃印刷全自动AOI智能检测设备研究获进展
电子光学玻璃印刷 全自动 AOI智能检测设备
2017/8/7
近日，中国科学院自动化研究所精密感知与控制研究中心联合自动化所创业公司——中科慧远视觉技术有限公司（以下简称“中科慧远”），共同研发的电子光学玻璃印刷全自动AOI智能检测设备，经过两年的在线运行与验证，完全达到了客户工业4.0智能生产车间的技术指标要求，标志着这一困扰了全世界三十多年的行业难题终于被攻克。
随着我国月球探测工程的稳步推进，国内月球与行星科学、天体化学、比较行星学等学科得到了快速发展，嫦娥5号即将实现月球样品的采样返回，围绕月球样品开展系统的、惊喜的、高效的分析是科学价值和科学产出最大化的前提保障。针对这一背景需求，由中科院地球化学研究所月球中心倡议，地化所青促会小组和月球中心于4月27日共同举办了“电子/光学显微分析技术及地质学应用”学术研讨会，此次研讨会吸引了来自南华大学、中科院长...
微光学与微电子光学设备实验室（图）
微光学 微电子光学 实验室
2011/11/10
我室的主要学科方向为微光学与微电子光学设备。微光学与微电子光学设备是中国科学院光电技术研究所的重点研究学科之一，二十多年来坚持不懈，瞄准世界技术前沿开展新理论、新方法、新技术等前瞻性创新研究，在微细加工光学技术与装备研制方面不断迅速拓展，培养和造就了一支从设计、工艺、加工、装调检测技术结构合理的科研队伍。具有光、机、电技术的综合科研优势和配套完善的开发、制造与检测能力，为完成国家重大工程和产品研发...
DJ-2型可变矩形电子束曝光机电子光学设计
电子光学 电子束曝光机 可变矩形束
2009/10/15
本文讨论可变矩形电子束曝光机的电子光学设计,着重分析光路构成和变形偏转补偿等问题。DJ-2型机使用最少的透镜数实现变形束曝光机的功能要求。为实现高速变形偏转,采用高灵敏度串接式平板静电偏转器,通过精确的线性补偿和旋转补偿,使靶上束斑电流密度和分辨率以及原点位置不受束斑尺寸改变的影响。实验结果表明,用发夹型钨丝阴极时的束流密度大于0.4A/cm2;2×2mm扫描场内边缘分辨率优于0.2μm。
浸没流多透镜多注电子光学系统的模拟研究
电子光学系统 多注速调管 电子枪
2009/9/1
该文采用先2维后3维的计算方法，对L波段高峰值功率多注速调管电子光学系统进行了模拟设计。采用均匀场浸没流多透镜聚焦系统对电子注进行聚焦，获得了通过率100%，填充因子55%，特性良好的旁轴电子注。模拟计算表明，多透镜系统可有效调整电子注平衡半径，电子枪区均匀场可有效调整电子注波动性及层流性，聚集系统可在阴极磁感应强度为0.001~0.01 T，主磁场为0.06~0.13 T的范围内实现对旁轴电子注...
电子光学中四极场分布的半解析法计算
电子光学 四极场 半解析法
2009/8/24
采用一种新的半解析法，对电子光学中3种不同形状电极产生的四极场进行分析计算。半解析法中极点的确定方法简单有效，可以结合电极的形状填充等效源，并且极点位置确定极为精确。在四极场的计算中，该方法具有表达式简单，求解变量少，而且计算精度和效率高的优点。对凸圆柱电极、内凹圆柱电极以及平板电极产生的四极场进行了求解，并将计算结果进行了比较，应用半解析法在计算凸圆柱电极产生的四极场具有更为明显的优势,精度可达...
三维电子光学模拟器二阶有限元方法研究
电子光学系统 电子枪 有限元 CAD
2011/5/17
该文介绍了二阶有限元方法的基本理论，同时将其应用到3维微波管模拟器套装(Microwave Tube Simulator Suite, MTSS)中的电子光学模拟器(Electron Optics Simulator, EOS)。比较了EOS分别采用一阶和二阶有限元方法的计算结果，得到了二阶具有更好的收敛性以及更快的收敛速度的结果。
多注速调管电子光学系统的研究
多注速调管 多注电子光学系统 周期反转永磁聚焦
2009/5/12
本文比较系统地阐述了在多注速调管电子光学系统中开展的研究工作。给出了周期反转永磁聚焦系统的设计方法和设计考虑,讨论了控制极调制多注电子枪设计中遇到的特殊问题和解决方法,建立了计算电子光学系统的二维磁场和电子轨迹计算软件,并应用这些软件设计和研制了S波段200kW多注宽带速调管的电子光学系统。该管输出功率180kW,带宽7.6％,效率44.4％,增益大于45dB,电子注通过率89％,高频通过率69-...
强流电子枪电子光学性能的研究
强流电子枪 电子加速器 电子光学
2008/5/24
利用SLAC-226程序对一种工业用大功率电子加速器(450kW)的电子枪光学系统性能进行了研究。计算程序以带电粒子的洛伦兹力运动方程的相对论形式为基础，在充分考虑了空间电荷效应和电子自身产生磁场的情况下编写而成。在该程序中，网格的划分采用正方形网格；解泊松方程采用半迭代切比雪夫法；解轨迹方程采用四阶龙格库塔法。经过对轴上电位的优化计算，得到了轴上电场的分布，电子轨迹以及阳极孔处的径迹斜率等结果...
对TWTCAD微机版、工作站版本、EGUN，CAMEO以及Orprogr电子光学软件背景和特点作了一个简单介绍，并利用其模拟计算了11支不同结构的电子枪。将计算得到的导流系数、射程和注腰半径与实验数据列表对比，结果表明：不同电子光学软件计算不同类型电子枪其计算精度也不一样。在导流系数方面，EGUN和Orprogr的计算精度较高，绝对平均误差分别为7.18%和7.4%；在射程方面，TWTCAD的计算...
PRPM聚焦多注速调管电子光学系统的研究
多注速调管 TAU 边界元 多注电子光学
2008/4/28
该文采用边界元( BEM )软件TAU对具有周期反转永磁(PRPM)聚焦结构的多注速调管电子光学系统进行研究。通过编写程序增加TAU读入三维磁场数据的功能，从MAFIA中导入三维磁场，分别模拟了处于径向不同位置处电子注的轨迹。通过对磁聚焦系统进行优化设计，外层电子注轨迹得到明显改善。使用软件TAU进行三维模拟可以大大缩短模拟时间，便于多注速调管电子光学系统的工程设计。
利用基于虚边界元法的VBGUN程序和基于边界元法的MOM程序，对一折叠波导毫米波行波管的电子光学系统进行了设计。设计过程中使用计算相关性系数的方法调节参数，通过计算敏感性系数以考察加工误差带来的影响。设计过程显示：低导流系数、小束腰、高压缩比的毫米波电子枪的层流性与电极尺寸相关性很大，易受到加工误差的影响；聚束系统的设计难点在于轴上峰值磁感应强度要受到漂移管半径的限制，这一点可以通过提高工作电压和...