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采用特效催化反应、高效精馏和特种装置设备等技术制造出电子级氯化氢产品。该产品用于大规模集成电路芯片制造。经国内用户试用及与国外知名品牌氯化氢产品分析对比,其主要性能指标与国外同类产品相当,填补了中国电子级氯化氢产品生产的空白。该产品原料来源充足,供应可靠,生产线装置运行连续稳定,产品的主要技术指标具有可靠的检测手段,符合环保要求。技术路线科学、合理、先进,工艺参数稳定,具有自主的知识产权。关键技术...

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