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工程与技术科学基础学科 非晶态
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中国科学院新疆理化技术研究所专利:一种直流磁控溅射制备
非晶态
La-Mn-O薄膜的方法
中国科学院新疆理化技术研究所
专利
直流磁控溅射
非晶态
La-Mn-O薄膜
2023/12/4
本发明涉及一种直流磁控溅射制备
非晶态
La?Mn?O薄膜的方法,该方法利用直流磁控溅射以镧锰合金为靶材,将合金靶材和衬底放入磁控溅射生长室中,在真空条件下进行磁控溅射得到沉积态薄膜,将沉积态薄膜进行后退火处理,通过调控退火温度得到
非晶态
La?Mn?O薄膜,该方法工艺简单,效率高,形成
非晶
相薄膜的退火温度较低,能耗较少,制备的
非晶
相La?Mn?O薄膜成分均匀,具有显著的负温度系数特性,有望应用于NTC...
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