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本发明提供了一种类光栅结构复合NTC热敏薄膜的制备方法。该方法在衬底上生长两种或多种NTC热敏薄膜，不同薄膜以条纹形式生长构成类光栅结构，通过调整薄膜种类和条纹宽度，实现调控NTC薄膜电学性能的目标。该制备一方面，可避免先制备多相复合源材料或靶材，再以此为基本材料制备获得复合薄膜的过程中因为源材料或靶材相分布不均匀而造成薄膜一致性差的问题；另一方面，可避免复合薄膜异质生长过程中因晶格失配或热膨胀系...