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实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
含量 碳 氧 硅单晶
2008/5/5
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。
ICP-AES测定硅单晶中杂质铬、铜、锰、铝、镉、钼
硅单晶 ICP-AES
2008/4/30
本文采用电感耦合等离子体发射光谱对硅单晶材料中6种金属杂质的分析进行了研究。研究了基体硅对分析元素的干扰影响及校正。采用压力溶样器制各样品,并在低温进行杂质富集,采用ICP-AEC对杂质进行了分析,回收率在90％～105％之间。