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中国科学院合肥物质科学研究院专利：硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 硅微机械 两维倾角 传感器芯片
2023/12/12
中国科学院合肥物质科学研究院专利：硅微机械两维倾角传感器芯片及制作方法
冲击硅微机械加速度传感器的封装与封装性能分析
冲击硅微机械加速度传感器 封装 可伐合金 模态频率 破坏
2014/5/14
本文给出了一种压阻式冲击硅微机械加速度传感器的器件封装结构并对封装的性能进行了分析。加速度传感器的封装采用可伐合金做管壳，采用环氧粘合剂将芯片粘结在金属基板上，采用金丝连接芯片铝焊点和管脚，使用环氧灌封胶充填管壳内空余的区域，来缓冲芯片受到冲击时承受的冲击应力。用ANSYS软件对封装后的器件进行了模态分析。分析结果表明，封装后加速度传感器敏感结构—悬臂梁敏感方向上的模态频率与封装前基本相同，封装后...
以一种双线振动硅微机械陀螺仪为研究对象，设计了驱动、检测电路，达到了一定的性能要求。驱动模态使用自激振荡的闭环控制方式，使陀螺稳定工作在其固有频率上。在载波和驱动环节使用了一种AGC技术，实现了载波信号和驱动模态的幅度的高精度控制。使用二极管一次解调，简化了电路结构。检测部分使用了一种相位修正放大电路，有效减小了有用信号频率附近的幅相误差。
一种三框架电容式硅微机械陀螺结构设计与仿真
mems 陀螺 电容 框架
2014/5/15
为了解决传统双框架陀螺结构，驱动和检测采用同一质量块，以及加工等所引起的误差，提出了一种三框架的硅微机械陀螺结构。此结构由三个框架组成，其中外框架为驱动框架，在x轴方向驱动，内框架为检测框架，当在z轴方向有角速度输入时，在哥氏力的作用下，在y轴方向检测。中间框架可随外框架或内框架一起运动。这种结构保证了当受到静电力驱动时，检测框架完全静止，同时，当检测框架检测时，驱动框架完全静止，从结构本身上消除...
一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器
微型电场传感器 闭环 自激驱动电路
2009/11/24
该文提出了一种闭环自激式驱动的微型电场传感器方案。利用自动增益控制的原理实现闭环自激驱动，使得微传感器能够始终工作在谐振状态，且振动幅度保持稳定。用matlab-simulink工具对系统进行了仿真，结果表明，当传感器的谐振频率发生0.5%的漂移时，系统可以重新捕捉并锁定到新的谐振频率，和开环驱动方案相比，传感器振幅的衰减度从30%降低到0.1%之内，灵敏度从缩减50%改进到缩减0.1%之内。
硅微机械加速度传感器生产
硅 加速度传感器 微机械
2008/9/24
硅微机械加速度传感器主要生产工艺有体硅工艺及表面工艺，主要核心技术如下：建立了并行梁电阻网络测试加速度的理论和方法，并应用于硅微机械加速度传感器的设计。并行梁电阻网络单检质量块三轴集成硅微机械加速度传感器的设计、仿真、加工。面向环境的信号检测、温度补偿、适配电路的设计。专用信号处理ASIC设计、加工技术。系列化、模块化、工程化高可靠性集成测试系统应用研究。本项目年生产大纲为年生产硅微加速度传感器7...