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中国科学院光电技术研究所痕量水汽检测研究获进展
中国科学院光电技术研究所 痕量水汽检测 高纯气体
2017/8/29
高纯气体中水汽含量是半导体工业生产中的一个重要参数，气体中残余水汽含量即使是ppbv (体积的十亿分之一）量级也会对产品质量产生影响。气体在中红外区域具有更丰富的特征谱线，在该区域对水汽含量进行检测十分必要。宽调谐范围、高输出功率和窄线宽量子级联激光器的快速发展，推动了该区域红外光谱检测技术的发展。中国科学院光电技术研究所团队首次在中红外波段采用5.2 um可调谐量子级联激光器，基于连续光腔衰荡光...