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搜索结果:
1-1
共查到
“
光学工程 极紫外辐射
”
相关记录1条 . 查询时间(0.138 秒)
基于脉冲CO2激光锡等离子体光刻光源的
极紫外辐射
光谱特性研究
激光等离子体
极紫外辐射
CO2激光
缓冲气体
2012/8/17
研究了不同条件下脉冲放电CO2激光烧蚀平板锡靶产生的等离子体
极紫外辐射
特性, 设计并建立了一套掠入射
极紫外
平焦场光栅光谱仪, 结合X射线CCD探测了光源在6.5~16.8 nm波段的时间积分
辐射
光谱,得到了
极紫外
光谱随激光脉宽, 入射脉冲能量及背景气压的变化规律。实验结果发现:入射激光脉冲能量在30~600 mJ变化时,
极紫外辐射
光谱的强度随辐照激光脉冲能量的增加而增加, 但并不是线性关系, 具有...
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