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微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题。将传统的刀口检测技术进行数字化改进后,用于微光学元件的面形检测,具有实时、定量、精度高的特点,在光学元件质量评价中有着重要意义。介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理和实验装置,详细论述了对CCD采集的阴影图进行图像处理的关键步骤:(1)精确测定每个像素的暗场阈值所对应的刀口位置;(2)确定与像素相应的面形区域的倾角误差;(3)对面形进...
THz波及其光谱检测技术     THz波  光谱检测  光谱技术       2008/4/27
介绍了THz波的基本性质、应用前景和国内外的研究现状,并阐述了THz波的产生方法和探测方法.对中国计量学院拟开展的工作进行了分析和讨论.
广东工业大学光电检测技术参考书目。
本文介绍了光学技术,主要是近红外激光技术在医疗诊断领域的几个最新进展,包括对婴儿脑细胞中氧含量的监测、光学断层扫描技术对乳腺癌的检测,以及荧光周期成像技术在肿瘤检测中的应用。这些技术目前尚处于研制开发阶段,但已显示了诱人的商业前景。
近期,上海光机所信息光学实验室王向朝研究员课题组与上海微电子装备有限公司合作,利用国家“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米分辨率步进扫描投影光刻机”的研发平台,对高端光刻机成像质量原位检测技术进行了系统和深入的研究,在高端光刻机投影物镜的轴向像质、垂轴像质、静态与动态像质以及波像差的原位检测技术等领域获得了多项重要研究成果。该课题组创新性地提出了一系列193纳米高端光刻机成像质量...
基于CCD的光纤式位移检测技术

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