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1-1
共查到
“
工程通用技术 氢气提纯
”
相关记录1条 . 查询时间(0.07 秒)
中国科学院大连化学物理研究所专利:一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环
氢气提纯
处理方法
中国科学院大连化学物理研究所
专利
三氯氢硅
多晶硅
氢气提纯
2024/1/30
一种三氯氢硅还原生产多晶硅循环
氢气提纯
处理方法。采用两组串联的金属钯复合膜
氢气纯
化器,对三氯氢硅还原循环
氢气
进行
提纯
处理,其中第一组金属钯复合膜
氢气纯
化器相对较大,
提纯
处理的超纯
氢气
(H2纯度>99.9999%)返回还原炉,用于三氯氢硅还原的原料气,而第二组
氢气纯
化器相对较小,
提纯
处理的高纯
氢气
(H2纯度-99.999%)去冷氢化工段作为原料气。该方法
提纯
处理循环
氢气
的回收率可以达到99%。当循环...
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