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中国科学院新疆理化技术研究所专利：一种取向热敏薄膜电阻的制备方法
中国科学院新疆理化技术研究所 专利 取向 热敏薄膜电阻
2024/1/12
本发明涉及一种取向热敏薄膜电阻的制备方法，该方法将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝为原料，分别溶解在冰醋酸和乙二醇甲醚中，得到纯清溶液，通过旋涂法沉积在（100）取向的镍酸镧基底上，预处理挥发有机物，多次重复旋涂得到所需膜厚，经过最终热处理，得到取向热敏薄膜，制备电极得到热敏电阻。由于取向薄膜相对普通薄膜具有更高的晶粒有序排列，不但能够满足电子设备结构的微型化、集成化及高温环境使用的要求，而且能在实际应用中...