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受电场作用可伸缩的人工材料,即所谓电活性高聚物,可将电能转化为机械能。硅薄膜材料是其中一个主要品种,具有广泛的应用前景,其重要的应用领域之一是用于制造人造肌肉。目前的硅薄膜材料厚度在微米级别,需要的工作电压为几百伏特,这对于人造肌肉的工作条件来说要求太高。如果硅薄膜厚度能控制在纳米级别,则工作电压可大大降低,但能产生的推动力则很小,需要将数千层薄膜叠加在一起使用,才能产生足够的动力,现有的生产工艺...

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