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中国科学院大连化学物理研究所专利：一种真空紫外灯的射频电离激发装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 真空紫外灯 射频电离 激发装置
2023/11/20
本实用新型涉及一种真空紫外灯的射频电离激发装置，真空紫外灯腔体中充有惰性气体，通过该电离激发装置将惰性气体电离击穿后，透过光窗会发出特定波长的光。本实用新型设计的电离激发装置体积小巧、结构紧凑，适合于用作离子迁移谱仪中真空紫外灯电离源的电离激发。