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搜索结果:
1-1
共查到
“
工程通用技术 碳化钽
”
相关记录1条 . 查询时间(0.071 秒)
中国科学院大连化学物理研究所专利:一种使用
碳化钽
包覆钽丝为催化剂制备硅薄膜的方法
中国科学院大连化学物理研究所
专利
碳化钽
钽丝
催化剂
硅薄膜
2024/1/29
本发明涉及一种以
碳化钽
包覆钽丝为催化剂用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。将此热丝催化剂用于硅薄膜的制备,催化剂表面的
碳化钽
层得到了很好的保持,没有观测到硅化物的生成,即表现出很好的抗老化性能,具有明显延长热丝催化剂使用寿命的潜力。本催化剂制备方法简单,条件易于控制,适用于热丝化学气相沉积制备各种晶化度的本征、掺杂及化合物硅薄膜。
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