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本发明提供了一种基于惠斯通电桥原理设计的微机电系统热敏薄膜式热流计，该热敏薄膜式热流计由硅基衬底，热敏薄膜，复合电极，热阻层四部分制成；所述热敏薄膜生长在硅基衬底上，所述电极生长在热敏薄膜上，所述热阻层生长在热敏材料与复合电极上起到阻挡热流的作用。在激励电压下，热流计表面受到热流变化的影响，具体表现为有/无热阻层的热敏薄膜表面温度不同进而导致热敏薄膜的电阻不同。基于惠斯通电桥原理，当电桥中电阻不同...
西北工业大学博士生获微机电系统顶级国际会议最佳论文提名奖（图）
西北工业大学 微机电系统 会议
2015/7/6
第十八届固体传感器，致动器和微系统国际会议（18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2015）于2015年6月21日至25日在美国阿拉斯加州安克雷奇市举行，该会议为微机电系统（MEMS）领域的国际顶级学术会议。博士生张和民的一篇论文“A Novel R...