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中国科学院合肥物质科学研究院专利：溅射、沉积分离腔式真空薄膜沉积装置及其工作方法
中国科学院力学研究所“真空薄膜沉积系统”装备项目通过验收
2008/1/16
发布人:汪清
发表日期：2006-1-4
2005年12月31日，我所稀薄气体课题组承担的科研装备研制项目“真空薄膜沉积系统”通过验收。
项目负责人樊菁研究员详细介绍了“真空薄膜沉积系统” 的研制内容、完成情况、性能指标以及经费使用情况，与会专家查阅了“项目合同书”、“测试报告”、“经费使用汇总表”...