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大推力、低波动和低温升永磁直线电机是精密运动台集成化和高精度运行的前提。为实现直线电机的高推力密度和低推力波动设计，分析了直线电机的三维空间磁场分布，准确计算了永磁直线电机的电磁推力、横向力和法向力等三维力并深入分析了相互耦合机理，抑制了引起推力波动和振动的高次谐波。最大程度降低电机温升对平台运行精度的影响。 用于高速精密运动平台的永磁直线电机经常工作于高速高加速度启停运动模式，这就要求驱动电机的...