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搜索结果:
1-1
共查到
“
氩离子枪
”
相关记录1条 . 查询时间(0.074 秒)
高能量大束流
氩离子枪
的研发
氩离子枪
光学镜面抛光
表面科学
静电透镜
2022/3/17
为了实现对大口径碳化硅非球面反射镜的表面改性层硅的高精度快速抛光,设计制作了高能量大束流
氩离子枪
。通过热灯丝和阳极栅网的组合实现氩原子的
离子
化,通过调节
氩离子
所处区域的电位来确定
离子
的能量,通过静电聚焦透镜来实现
氩离子
的聚焦。调节灯丝和阳极栅网之间的电压达到
离子
化率的最大化,调节静电聚焦透镜的尺寸和相对位置实现
氩离子
的高透过率。
氩离子枪
的材料选择既需满足超高真空使用又要避免产生真空放电。通过理论计...
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