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2023年9月7日14:00,通过华为云会议视频平台,长安大学博士生导师,信息工程学院院长安毅生教授为暑期学员做题为《Petri网及其在交通与运载工程领域的应用》的线上专题讲座。讲座由机械与汽车工程学院副院长刘新田教授主持。
组合设备是半导体晶圆制造的核心装备,其调度与控制优化是半导体制造领域极具挑战性的课题.Petri网因其强大的建模能力和简约的图形化表达优势,被广泛地应用于组合设备的建模与调度.对基于Petri网的组合设备建模与调度方法进行综述,归纳总结了组合设备的结构类型、晶圆流模式、调度策略及Petri网建模方法,并系统阐述组合设备的7类典型调度问题,包括驻留时间约束、作业时间波动、晶圆重入加工、多品种晶圆加工...

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