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一种具有广泛适应性的微机械加工方法研究
硅微陀螺仪 深刻蚀 键合 侧壁
2014/5/6
本文研究了一种具有广泛适应性的微机械制造方法，该方法可用于制备各种不同的器件，包括硅微陀螺仪、加速度计、剪切应力传感器以及光开关等。利用该方法，制备了硅微陀螺仪，并给出了所制备的硅微陀螺仪的性能测试结果，同时分析了利用该制备方法制备各种不同器件时，工艺流程对器件性能的影响，重点讨论了硅-玻璃阳极键合、减薄工艺以及深刻蚀所形成的侧壁质量，包括侧壁垂直度、侧壁杂质等因素对器件性能的影响。
通过该项目的研究，解决了化学腐蚀的均匀性、电化学腐蚀夹具结构、电极制做方式、硅硅键合设备试制等问题。建立了一条微机械加工工艺线，可以批量加工4″片硅片。完全取代了原始机械加工硅杯生产扩散硅压力传感器的工艺，提高了生产效率，产品的一致性和互换性增强，芯片的性能价格比大大提高。该课题研究采用“掩模－无掩模”腐蚀技术，只要用一层复合掩模连续地进行掩模和无掩模腐蚀，就可以同时形成离表面很深的多层结构。结构...
超精密机械加工技术在微光学元件制造中的应用
机械加工技术 微光学元件
2007/3/29
超精密机械加工技术作为微光学元件的一种制造方法，具有很多其他传统方法所不具有的优点。本文回顾了超精密机械加工技术的发展，展望了其在微光学元件加工中的应用潜力。
Ni-Ti-Nb宽滞后记忆合金的机械加工
Ni-Ti-Nb合金 机械加工 高温拉伸行为
2010/3/31
用正交试验法研究了Ni-Ti-Nb合金在小同切削速度、进给量和切削深度下的机械加工性能。结果表明:切削速度、进给量、切削深度对切削力和平均切削温度的影响基本上与45钢相同；切削时宜用K 类硬质合金刀具最佳切削速度为40m/min。