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近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队在Φ600mm口径干涉仪绝对检测技术研究方向取得新进展，提出一种基于多表面干涉原理的原位绝对面形检测技术，实现Φ600mm口径干涉仪标准平晶绝对面形误差的原位测量，相关成果于2月26日发表在[Optics and Lasers in Engineering, 129, 106054 (2020)]。
大口径干涉仪系统传递函数的修正和校准
干涉检测 功率谱密度 系统传递函数
2009/8/24
采用子孔径拼接法对传统系统传递函数校准方法进行修正。将大口径干涉仪视场分成若干个等晕区,采用标准台阶相位比较法分别测得每个等晕区的传递函数,然后将大口径干涉仪系统传递函数修正为每个等晕区传递函数的加权平均,其权重因子由对应等晕区内测试面的功率谱决定。实验结果表明:中心视场对应传递函数和修正后的系统传递函数在3 mm-1附近处差值大于0.2;修正后的系统传递函数校准方法能更准确地得到波前功率谱密度。
大口径干涉仪系统传递函数校准
光学检测 波前功率谱密度 系统传递函数
2008/4/10
波前功率谱密度(PSD)被用于评价ICF激光驱动器光学元件在中频区域的波前误差。目前主要采用大口径相移干涉仪检测ICF光学元件的波前畸变，通过付立叶变换获得波前的PSD分布。相移干涉仪在较高空间频率分量的测量上存在失真效应，因此需对干涉仪的空间频率传递函数进行校准。本文采用位相比较法测量大口径相移干涉仪的系统传递函数。我们采用衍射光学元件的制造工艺，设计、制作了标准的透射和反射位相元件，比较理论计...
大口径干涉仪装置的调整及支承机构
2007/8/20
采用蜗轮蜗杆驱动调整机构、使用同步带安装标准镜片方式、正交十字导轨支撑等可有效提高光学精密检测系统中大口径干涉仪装置的镜面面形质量、稳定性和调节准确度，从理论上介绍了蜗轮蜗杆驱动机构等设计原理及其基本公式，并从实验上验证了这些机构对光学精密检测系统稳定性的影响.