搜索结果: 1-1 共查到“光学工程 面形检测技术”相关记录1条 . 查询时间(0.048 秒)
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心研究团队在Φ600mm口径干涉仪绝对检测技术研究方向取得新进展，提出一种基于多表面干涉原理的原位绝对面形检测技术，实现Φ600mm口径干涉仪标准平晶绝对面形误差的原位测量，相关成果于2月26日发表在[Optics and Lasers in Engineering, 129, 106054 (2020)]。