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本发明涉及一种负温度系数热敏薄膜及其制备方法，该薄膜是由Au/Ti双层电极、Mn‑Co‑Ni‑Mg‑Al基薄膜、绝缘二氧化硅和硅衬底制成，通过在保护性气氛下的第一退火处理，使Mn‑Co‑Ni‑Mg‑Al基薄膜晶粒生长的同时产生大量的氧空位，氧空位除了会提供两个额外的电子，还导致材料化学计量比的偏离、金属...