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中国科学院新疆理化技术研究所专利：一种取向热敏薄膜电阻的制备方法
中国科学院新疆理化技术研究所 专利 取向 热敏薄膜电阻
2024/1/12
本发明涉及一种取向热敏薄膜电阻的制备方法，该方法将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝为原料，分别溶解在冰醋酸和乙二醇甲醚中，得到纯清溶液，通过旋涂法沉积在（100）取向的镍酸镧基底上，预处理挥发有机物，多次重复旋涂得到所需膜厚，经过最终热处理，得到取向热敏薄膜，制备电极得到热敏电阻。由于取向薄膜相对普通薄膜具有更高的晶粒有序排列，不但能够满足电子设备结构的微型化、集成化及高温环境使用的要求，而且能在实际应用中...
中国科学院新疆理化技术研究所专利：一种柔性热敏薄膜的制备方法
中国科学院新疆理化技术研究所 专利 柔性 热敏薄膜
2024/1/8
本发明涉及一种柔性热敏薄膜的制备方法，该方法涉及的高真空镀膜装置是由靶材、衬底、衬底盘、真空腔体、靶托和激光器组成。采用室温固相法，制备颗粒小且粒径分布均匀的纳米级陶瓷氧化物粉体；将粉体进行压片、烧结处理，获得高致密度的陶瓷靶材；采用高真空镀膜技术在聚酰亚胺衬底表面沉积锰钴镍基氧化物薄膜；对沉积所得薄膜进行后退火处理。以实现高质量、电学性能稳定的柔性热敏薄膜的批量化、产业化生产。本发明实现了室温条...
本发明公开了一种具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜的制备方法，该方法首先在硅衬底表面制备绝热缓冲层；然后再绝热缓冲层表面制备二氧化硅绝缘层；最后在二氧化硅绝缘层表面制备热敏薄膜，即得到具有绝热缓冲层结构的热敏薄膜。其中所述的绝热缓冲层是在硅片表面生长硅柱、硅球或硅棒，从而形成具有不同结构特点的多孔硅基结构，利用孔隙内部储存的空气，实现热敏薄膜与硅衬底之间热绝缘的作用，使得热敏薄膜整体热容量和热耗散减小，...
本发明涉及一种负温度系数热敏薄膜及其制备方法，该薄膜是由Au/Ti双层电极、Mn‑Co‑Ni‑Mg‑Al基薄膜、绝缘二氧化硅和硅衬底制成，通过在保护性气氛下的第一退火处理，使Mn‑Co‑Ni‑Mg‑Al基薄膜晶粒生长的同时产生大量的氧空位，氧空位除了会提供两个额外的电子，还导致材料化学计量比的偏离、金属...
本发明提供了一种类光栅结构复合NTC热敏薄膜的制备方法。该方法在衬底上生长两种或多种NTC热敏薄膜，不同薄膜以条纹形式生长构成类光栅结构，通过调整薄膜种类和条纹宽度，实现调控NTC薄膜电学性能的目标。该制备一方面，可避免先制备多相复合源材料或靶材，再以此为基本材料制备获得复合薄膜的过程中因为源材料或靶材相分布不均匀而造成薄膜一致性差的问题；另一方面，可避免复合薄膜异质生长过程中因晶格失配或热膨胀系...
本发明提供了一种基于离子注入的NTC复合热敏薄膜的制备方法。该方法首先在衬底上生长一种NTC热敏薄膜，之后通过固定能量及剂量注入特定离子，制备成具有特殊结构的NTC复合热敏薄膜。离子注入方法首次被用于传统负温度系数（NTC）热敏薄膜材料的改性，一方面使得几乎所有元素的注入成为可能，并且可以得到高的表面浓度获得非平衡结构；另一方面离子注入深度和浓度易于控制，便于重复注入及重复实验，具有制备工艺简单、...