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2024年3月18日，中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光元件技术与工程部在脉冲压缩光栅双光束静态干涉场全息曝光系统光学元件的指标体系和曝光光场均匀性控制工艺研究中取得新进展。研究首次建立了反射曝光光场均匀性的定量评价体系，并在小口径反射曝光系统中成功实现了应用验证。相关研究成果以“Specifications and control of spatial frequency errors ...
上海光机所在激光近无应力烧蚀理论及工艺研究中取得新进展（图）
激光 烧蚀理论 光学元件
2023/11/29
2023年11月8日，中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心实验室在激光近无应力烧蚀理论及工艺研究中取得新进展。研究首次揭示了激光烧蚀过程中加工形貌及残余热应力的分布行为及演变规律。相关研究成果以“Theoretical and experimental investigations in thermo-mechanical properties of fused silica w...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种柔性薄膜太阳电池的结构和制备工艺
中国科学院大连化学物理研究所 专利 柔性 薄膜太阳电池
2023/10/17
本发明公开了一种柔性薄膜太阳电池的结构和制备工艺，属于太阳能电池技术领域。该柔性薄膜太阳电池结构包括依次层叠的柔性衬底、银或者铝薄膜、第一层透明导电薄膜、薄膜太阳电池和第二层透明导电薄膜；所述柔性衬底上制有条带状绝缘层，绝缘层上固接第一电极，所述柔性衬底上固接第二电极；第一电极通过金属引线与第二层透明导电薄膜相连，第二电极通过柔性衬底与银或者铝薄膜直接电连接，或者，第二电极通过金属引线与银或者铝薄...
中国科学院过程工程所流态化煅烧新工艺实现磷石膏资源化利用（图）
磷石膏资源 煅烧装置
2023/8/16
2022年4月20日，过程工程所与云南云天化环保科技有限公司合作研发的磷石膏综合利用示范项目（一期）顺利建成并成功产出II型无水石膏和β-半水石膏产品。该示范项目预计消纳磷石膏45万吨/年，是目前国内单套产能最大的磷石膏煅烧装置，也是首套采用磷石膏生产两种产品的工业装置。
光纤基底TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺
光纤 TiNi薄膜 磁控溅射 工艺参数
2022/3/17
将TiNi基记忆合金薄膜与光纤相结合可制成智能化、集成化且成本经济的微机电系统和微传感器件。本文采用磁控溅射法在二氧化硅光纤基底上制备TiNi记忆合金薄膜，系统讨论了溅射工艺参数以及后续退火处理对薄膜质量的影响。采用自研制光纤镀膜掩膜装置在直径为125μm的光纤圆周表面上形成均匀薄膜。实验表明：在靶基距、背底真空度、Ar气流量和溅射时间一定的条件下，溅射功率存在最佳值；溅射压强较大时，薄膜沉积速率...
2021年5月24日至25日，重大科技基础设施——“活细胞结构与功能成像等线站工程”继5月初实现2nm自由电子激光放大出光之后，完成并通过了用户波荡器束线及活细胞成像束线的工艺测试。测试专家组由来自中国科学院近代物理研究所、中国科学技术大学、上海交通大学、中国科学院高能物理研究所、中国科学院大连化学物理研究所的8名专家组成，夏佳文院士任组长。
上海光机所精密光学制造与检测中心在磁流变超精密加工理论及工艺研究中取得重要突破。研究发现磁流变超精密加工中存在特定的仅有数十微米带宽的“魔法”角度步距状态，在这种状态下可以稳定地获得无波纹表面，而不影响其他空间频率误差的收敛。与传统的磁流变正交加工方式相比，在“魔法”角度步距状态下产生的中频误差可以减小几个数量级从而淹没在噪声中。“魔法”角度步距是一种全新的消除中频误差的方法，简单且高效，将磁流变...
中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心研究方向光电子器件工艺与检测平台技术
中国科学院半导体研究所光电子器件国家工程研究中心 研究方向 光电子器件工艺与检测平台技术 光电子器件 工艺与检测
2022/10/4
中国科学院半导体所国家工程中心所属半导体所元器件检测中心，是半导体所可靠性检测平台，先后为大功率激光器、激光探测与制导等产品和项目提供湿热和温度冲击、离心等适应能力和结构可靠性方面的检测服务，为国家工程中心各项目的顺利实施提供了保障。
湖南大学张屹教授应邀作《激光制造工艺与装备》学术报告（图）
湖南大学 张屹 激光制造工艺与装备 学术报告
2022/2/5
2020年12月上午10:30，湖南大学机械与运载工程学院副院长张屹教授应邀于湖南省机械工程学会2020年年会暨学术报告会上作《激光制造工艺与装备》学术报告。学术报告会由机械工程学会常务理事杨旭静主持。张屹教授是湖南大学机械与运载工程学院副院长，现为中国光辐射安全和激光设备标准化技术委员会委员、中国光学学会激光加工专业委员会委员。长期致力于激光制造理论、工艺和装备开发。
TSV工艺X射线像素阵列探测器研究取得重要进展（图）
TSV工艺 X射线 像素阵列 探测器
2020/12/24
近日，中科院高能所同步辐射硅像素探测器研发团队在新型像素阵列探测器研究方面取得重要进展，团队成功研制出基于硅通孔技术（Through Silicon Via，TSV）的探测器工程样机。TSV技术的成功应用大幅缩小了模块间的缝隙宽度，同时还改善了探测器在低能区的响应。这一进展标志着高能所在先进X射线像素探测器的设计、工艺研究及系统集成上达到了国内领先水平，所有关键技术及工艺方法全部实现国产化，样机性...
经过多组对比实验，通过XRD、AFM、SEM等表征手段优化了BST薄膜的制备工艺。结合BST基薄膜器件的电极制备、微结构加工制备了太赫兹频段电可调的频率选择表面。通过太赫兹测试系统验证了在太赫兹频段BST薄膜的可调性，在电场作用下通带频率可以从0.85 THz调节到0.87 THz，结合仿真研究给出了确定铁电薄膜在THz频段介电参数的方法。相关研究可用于精确测定铁电薄膜在THz频段的介电特性，为铁...
日前，天津大学作为项目牵头单位承担的国家重点研发计划“增材制造与激光制造”专项“高性能倍半氧化物激光晶体生长及制造工艺与装备”项目中期完成情况汇报会在天津顺利召开。科技部高技术研究发展中心陈智立处长、陆蔚华博士、项目咨询专家组朱晓教授等专家，天津大学科研院副院长符银丹、精仪学院副院长杨博、项目牵头单位及参与单位科研管理部门代表、项目负责人、课题负责人和骨干成员约30人参加了本次会议。会议由陈智立处...
干气密封螺旋槽的激光加工工艺研究
干气密封 螺旋槽 激光加工 加工工艺
2019/1/21
干气密封环螺旋槽的加工质量对干气密封性能有非常显著的影响。为了获得较高的螺旋槽加工质量，并能对螺旋槽加工工艺提供有效指导，利用LM-20型光纤激光标刻机对干气密封常用的碳化硅（SiC）陶瓷材料和碳化钨（WC）硬质合金材料进行了螺旋槽激光加工工艺研究。分别考察了激光功率、扫描速度、填充间距、重复频率、标刻次数等工艺参数对螺旋槽深度hg和底表面粗糙度Ra的影响；并选用激光功率、扫描速度、重复频率、标刻...
中国科学院光电技术研究所薄膜光学技术研究室在低缺陷密度红外薄膜制备工艺方面取得进展，通过优化红外薄膜的镀膜工艺，硫化锌/氟化镱多层膜的缺陷密度显著降低。红外薄膜的缺陷是影响红外薄膜光学性能和其稳定性的重要因素，受到国内外相关研究人员的关注。光电所研究团队通过优化沉积沉积速率、沉积温度和沉积方式，显著降低了多层红外薄膜的缺陷：多层红外薄膜的缺陷密度降低了一个数量级。采用低缺陷密度工艺参数制备的164...
中国科学院西安光学精密机械研究所“铝合金阳极氧化电解着色的封闭工艺”获国家发明专利授权（图）
中国科学院西安光学精密机械研究所 铝合金 阳极氧化 电解着色 封闭工艺 国家发明专利授权
2017/4/13
铝及铝合金因其优越的材料性能而得到了广泛应用，与此同时，材料表面的装饰、防护技术也得到迅速发展。在这些表面防护技术中，最常用的是对材料表面进行阳极氧化、电解着色和封闭处理工艺。铝或铝合金经过阳极氧化处理后，金属表面会形成一层氧化膜（Al2O3），氧化膜的表层是多孔状结构，质地较为疏松，而底层较为致密。为了美观或其他特殊需要，常常还要对氧化膜进行电解着色处理，使材料表面着上颜色。由于氧化膜表层质地较...