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本发明公开一种以离子液体为基底用于热丝化学气相沉积制备硅薄膜的方法。在离子液体液面上热丝化学气相沉积制备硅薄膜，不同于传统的固体基底，液面上所合成的硅薄膜可转移，呈自支撑状态。进一步，本发明通过引入专门设计的刮刀对离子液体液面上生成的薄膜不断的刮取，可在一次实验中合成出多张厚度相近的硅纳米薄膜，有潜在的批量合成效果和实际应用价值。此外，所制备出的硅纳米薄膜采用了透析的方法去除离子液体，可实现对样品...
中国科学院金属研究所专利：用等离子体增强化学气相沉积在长管内表面沉积薄膜方法
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中国科学院金属研究所 专利 金刚石薄膜 热丝化学 气相沉积
2023/8/11
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化学气相沉积铜薄膜研究进展
2007/7/28
期刊信息
篇名
化学气相沉积铜薄膜研究进展
语种
中文
撰写或编译
撰写
作者
陶波,王琦*
第一作者单位
浙江大学化学系
刊物名称
真空科学与技术
页面
23(5), 340-346
出版日期
2003年
月
日
文章标识(ISSN)
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