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中国科学院合肥物质科学研究院专利:超高真空气体离化装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利:用于10*pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利:超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
中国科学院合肥物质科学研究院专利:阴膜浮动式超高真空粉末成型装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利:超高真空小口径可拆卸引出管密封装置

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