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本发明涉及质谱分析仪器，具体的说是一种用于高通量气体样品分析的真空紫外光电离源，包括电离源腔体和真空紫外光源；于电离源腔体顶部设置有气体入口，气体样品通过气体入口进入到电离源腔体内部；在电离源腔体内部，沿气体样品流动方向依次设置有相互间隔、同轴、平行的离子引出电极、离子漏斗和差分接口极板；真空紫外光源设置于电离源腔体侧壁上，真空紫外光源发出的真空紫外光平行于离子引出电极的极板并穿过极板间相互间隔的...
本发明公开了一种微型质谱仪中空心阴极放电真空紫外光电离源，电离室中以圆筒状电极作为空心放电阴极，以金属圆状电极作为放电的阳极，电离得到的离子通过离子漏斗直接引入到质谱分析器。放电区冲入惰性气体，保持放电区处于50～200Pa之间，空心阴极放电区域末端及空心阴极末端使用了氟化镁玻璃有效透过真空紫外光。离子漏斗区直接与放电发光区相接，样品从放电区后端进入，在离子漏斗区里面电离，电离得到的离子直接通过离...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种真空紫外灯电离装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 真空紫外灯 电离装置
2024/1/24
一种真空紫外灯电离装置，包括电离腔，紫外灯，推斥板，永磁聚焦环，小孔板，毛细管进样以及透镜系统。本发明中的电离源有两种工作模式，一种是紫外光电离模式，另一种是紫外光和电子碰撞电离模式，两种模式可以通过电压调节转换。利用永磁聚焦环对电子的作用，使电子沿螺旋线运动，增强了电子碰撞几率，提高了电子碰撞电离模式的检测灵敏度。本发明具有待测样品范围广，灵敏度高，功耗低，寿命长，工作气压范围宽等特点，在过程监...
一种自动开关实验仪器真空系统的装置，该装置包括电压传感器（1）、水压传感器（2）、低真空计（3）、高真空计（4）、机械泵转速传感器（5）、机械泵电流变送器（6）、分子泵转速变送器（7）、温度变送器（8），计算机（9）和可编程的控制器（10）。电压传感器、水压传感器、低真空计、高真空计、机械泵转速传感器、机械泵电流变送器、分子泵转速变送器和温度变送器对实验仪器的真空系统进行全程的观察、监控，通过计算...
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种高真空仪器腔体加热装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 高真空仪器 腔体加热
2024/1/24
一种高真空仪器腔体加热装置，该装置包括腔体（1）、热风机（2）、温度控制器（3）和空气传输管道（4）；热风机（2）上连有温度控制器（3），腔体（1）通过空气传输管道（4）与热风机（2）相连。通过将热风机产生的热风在腔体内往复循环而达到给真空仪器加热的目的，具有安装便利、加热速度快，加热均匀的优点。
本发明涉及一种实现且维持压力≤15×10-13torr抽真空方法，采用以下方法：将抽真空设备接入外部的真空容器，通过真空泵抽气，检漏无漏点；利用外部加热的方式烘烤抽真空设备和外部的真空容器，达到超高真空要求，依次向液氮薄壁桶注入液氮，待液氮薄壁筒和无氧铜套温度恒定后（～-180℃）；使用钛升华泵90秒，稳定约半小时，可实现真空腔室真空≤15×10-13torr。本发明的优点是操作简便，成本低，效率...
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种过真空腔室的波导管
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 真空腔室 波导管
2023/12/28
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种过真空腔室的波导管
中国科学院合肥物质科学研究院专利：一种用于真空阀门密封面抗粉尘污染的装置及方法
中国科学院合肥物质科学研究院专利：超高真空气体离化装置
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 超高真空 气体离化装置
2023/12/13
中国科学院合肥物质科学研究院专利：超高真空气体离化装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利：用于１０*pa超高真空圆形平面磁控溅射靶的密封装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利：超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 超高真空 磁控溅射 矩形平面 溅射靶
2023/11/22
中国科学院合肥物质科学研究院专利：超高真空磁控溅射矩形平面溅射靶
中国科学院大连化学物理研究所专利：一种真空紫外灯的射频电离激发装置
中国科学院大连化学物理研究所 专利 真空紫外灯 射频电离 激发装置
2023/11/20
本实用新型涉及一种真空紫外灯的射频电离激发装置，真空紫外灯腔体中充有惰性气体，通过该电离激发装置将惰性气体电离击穿后，透过光窗会发出特定波长的光。本实用新型设计的电离激发装置体积小巧、结构紧凑，适合于用作离子迁移谱仪中真空紫外灯电离源的电离激发。
中国科学院合肥物质科学研究院专利：溅射、沉积分离腔式真空薄膜沉积装置及其工作方法
中国科学院合肥物质科学研究院专利：阴膜浮动式超高真空粉末成型装置
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 阴膜 浮动式 真空 粉末成型
2023/10/17
中国科学院合肥物质科学研究院专利：阴膜浮动式超高真空粉末成型装置
中国科学院合肥物质科学研究院专利：活塞式真空粉末成型装置
中国科学院合肥物质科学研究院 专利 活塞式 真空粉末
2023/10/17
中国科学院合肥物质科学研究院专利：活塞式真空粉末成型装置